5-osiowa pompa turbomolekularna o zerowym tarciu antykorozyjna

Chłodząca wodą pompa turbomolekularna Maglev do smarowania CE

Technologie:

• Technologia sterowania łożyskiem magnetycznym: Przyjęta elektromagnetyczna to 5-osiowa magnetycznie lewitowana.Ta konstrukcja może mieć dynamiczną reakcję i terminową regulację za pomocą dynamicznej, aktywnej technologii sterowania zawieszeniem magnetycznym z zamkniętym obwodem, opartej na zaawansowanej międzynarodowej teorii sterowania, aby zagwarantować tak znaczące zalety szybkich wałów, jak stabilna, lewitująca i niezawodna praca.
• Technologia sterowania napędem silnika: Wysokowydajny, szybki silnik prądu stałego i system sterowania serwo są stosowane w serii lewitowanych magnetycznie pomp, aby uzyskać maksymalną energię silnika i automatycznie skompensować prędkość obrotową wału, zapewniając w ten sposób stabilny rozruch, niezawodne działanie i funkcja automatycznej regulacji energii dynamicznej.
• Technologia wirnika kompozytowego z włókna węglowego: Turbo wirniki seryjnych pomp molekularnych z zawieszeniem magnetycznym są wykonane z połączenia wysokowytrzymałego stopu aluminium i lekkiego włókna węglowego.W porównaniu do wszystkich wirników ze stopów aluminium, wirniki turbo charakteryzują się dużą redukcją masy i dużą poprawą wytrzymałości, dzięki czemu osiągane są cele w zakresie dużej prędkości obrotowej, wysokich osiągów i wysokiej niezawodności.
• Technologia odporna na korozję: Powierzchnie części w komorach seryjnych pomp molekularnych z zawiesiną magnetyczną są poddawane specjalnej obróbce, dzięki czemu powierzchnie są odporne na korozję powodowaną przez gazy korozyjne w procesach wytwarzania półprzewodników przez długi czas.Ponadto, takie gazy obojętne jak N2 są w pełni wypełniane w wałach pomp w celu ochrony części niskopróżniowych w pompach, dzięki czemu realizowana jest funkcja stabilnego odprowadzania gazów korozyjnych przez długi czas.
• System kontroli temperatury ogrzewania: Seria magnetycznie lewitowanych pomp molekularnych jest wyposażona w grzałkę elektryczną i regulator temperatury, dzięki czemu woda chłodząca, ogrzewanie powietrzno-kostne, ogrzewanie elektryczne i ciepło przenoszone przez gazy ochronne mogą być monitorowane i kontrolowane podczas pracy, temperatura w pompy mogą być utrzymywane w określonej wartości przez długi czas, niektóre substancje gazowe nie są przekształcane w substancje stałe w normalnej temperaturze i nie osadzają się w pompach, a także można spełnić wymagania dotyczące specjalnego procesu, takiego jak trawienie.

Dane techniczne:

Aplikacje:

Seria magnetycznie lewitowanych pomp molekularnych jest stosowana głównie w dziedzinach produkcji półprzewodników, produkcji klipsów, galwanizacji przemysłowej i instrumentów naukowych, zwłaszcza do ekstrakcji gazów korozyjnych występujących w trawieniu, CVD, PVD i implantacji jonów oraz gazów łatwo koagulujących w normalnej temperaturze.