Pompa turbomolekularna do smarowania Maglev Water Cool CE

Chłodząca wodą pompa turbomolekularna Maglev do smarowania CE

Magnetycznie lewitowane pompy molekularne to pompy, których wał jest wspierany siłą magnetyczną.

Seria magnetycznie lewitowanych pomp molekularnych to urządzenia do generowania próżni opracowane przez KYKY w celu spełnienia wymagań aplikacji w dziedzinach nowoczesnej produkcji półprzewodników, produkcji chipów, galwanizacji przemysłowej i instrumentów naukowych.

Technologie:

• Technologia sterowania łożyskiem magnetycznym: Przyjęta elektromagnetyczna to 5-osiowa magnetycznie lewitowana.Ta konstrukcja może mieć dynamiczną reakcję i terminową regulację za pomocą dynamicznej, aktywnej technologii sterowania zawieszeniem magnetycznym z zamkniętym obwodem, opartej na zaawansowanej międzynarodowej teorii sterowania, aby zagwarantować tak znaczące zalety szybkich wałów, jak stabilna, lewitująca i niezawodna praca.
• Technologia sterowania napędem silnika: Wysokowydajny, szybki silnik prądu stałego i system sterowania serwo są stosowane w serii lewitowanych magnetycznie pomp, aby uzyskać maksymalną energię silnika i automatycznie skompensować prędkość obrotową wału, zapewniając w ten sposób stabilny rozruch, niezawodne działanie i funkcja automatycznej regulacji energii dynamicznej.
• Technologia wirnika kompozytowego z włókna węglowego: Turbo wirniki seryjnych pomp molekularnych z zawieszeniem magnetycznym są wykonane z połączenia wysokowytrzymałego stopu aluminium i lekkiego włókna węglowego.W porównaniu do wszystkich wirników ze stopów aluminium, wirniki turbo charakteryzują się dużą redukcją masy i dużą poprawą wytrzymałości, dzięki czemu osiągane są cele w zakresie dużej prędkości obrotowej, wysokich osiągów i wysokiej niezawodności.
• Technologia odporna na korozję: Powierzchnie części w komorach seryjnych pomp molekularnych z zawiesiną magnetyczną są poddawane specjalnej obróbce, dzięki czemu powierzchnie są odporne na korozję powodowaną przez gazy korozyjne w procesach wytwarzania półprzewodników przez długi czas.Ponadto, takie gazy obojętne jak N2 są w pełni wypełniane w wałach pomp w celu ochrony części niskopróżniowych w pompach, dzięki czemu realizowana jest funkcja stabilnego odprowadzania gazów korozyjnych przez długi czas.
• System kontroli temperatury ogrzewania: Seria magnetycznie lewitowanych pomp molekularnych jest wyposażona w grzałkę elektryczną i regulator temperatury, dzięki czemu woda chłodząca, ogrzewanie powietrzno-kostne, ogrzewanie elektryczne i ciepło przenoszone przez gazy ochronne mogą być monitorowane i kontrolowane podczas pracy, temperatura w pompy mogą być utrzymywane w określonej wartości przez długi czas, niektóre substancje gazowe nie są przekształcane w substancje stałe w normalnej temperaturze i nie osadzają się w pompach, a także można spełnić wymagania dotyczące specjalnego procesu, takiego jak trawienie.

Dane techniczne:

Aplikacje:

Seria magnetycznie lewitowanych pomp molekularnych jest stosowana głównie w dziedzinach produkcji półprzewodników, produkcji klipsów, galwanizacji przemysłowej i instrumentów naukowych, zwłaszcza do ekstrakcji gazów korozyjnych występujących w trawieniu, CVD, PVD i implantacji jonów oraz gazów łatwo koagulujących w normalnej temperaturze.