Chłodzenie wodą Magnetycznie lewitowana pompa System kontroli temperatury ogrzewania ISO-K/CF

Pompa Maglev, CXF-250/2301, ISO-K/CF, chłodzenie wodne na pokładzie

Magnetycznie lewitowane pompy molekularne to pompy, których wał jest wspomagany siłą magnetyczną, spełniając wymagania aplikacji w dziedzinach nowoczesnej produkcji półprzewodników, produkcji chipów, galwanizacji przemysłowej i instrumentów naukowych.

Technologie:

• Technologia sterowania dla łożyska magnetycznego: 5-osiowy magnetycznie lewitowany, oparty na zaawansowanej międzynarodowej teorii sterowania, gwarantujący tak znaczące zalety szybkich wałów, jak stabilna lewitacja i niezawodna praca.
• Technologia sterowania napędem silnika: Wysokowydajny szybki silnik prądu stałego i układ sterowania serwo, posiadający maksymalną energię silnika i automatycznie kompensujący prędkość obrotową wału, zapewniając w ten sposób stabilny rozruch, niezawodną pracę i funkcję automatycznej regulacji energii dynamicznej.
• Technologia wirnika kompozytowego z włókna węglowego: Wykonane z mieszanki wysokowytrzymałego stopu aluminium i lekkiego włókna węglowego.charakteryzuje się dużą redukcją masy i dużą poprawą wytrzymałości, dzięki czemu osiągane są cele w zakresie dużej prędkości obrotowej, wysokiej wydajności i wysokiej niezawodności.
• Technologia odporna na korozję: Powierzchnie części w komorach są poddawane specjalnej obróbce, dzięki czemu powierzchnie przez długi czas są odporne na korozję powodowaną przez gazy korozyjne w procesach wytwarzania półprzewodników.Ponadto, w wałach pomp są całkowicie wypełnione gazy obojętne, takie jak N2, aby chronić części pomp o niskim podciśnieniu, dzięki czemu realizowana jest funkcja stabilnego odprowadzania gazów korozyjnych przez długi czas.
• System kontroli temperatury ogrzewania: wyposażone w grzałkę elektryczną i regulator temperatury, woda chłodząca, ogrzewanie powietrzno-kostne, ogrzewanie elektryczne i ciepło przenoszone przez gazy ochronne mogą być monitorowane i kontrolowane podczas pracy, temperatura w pompach może być utrzymywana na pewnej wartości przez długi czas, niektóre w stanie gazowym substancje nie są przekształcane w substancje stałe w normalnej temperaturze i nie osadzają się w pompach, a wymagania dotyczące specjalnego procesu, takiego jak trawienie, mogą być spełnione.

Zalety:

Te pompy mają zalety, takie jak zerowe tarcie podczas pracy i niskie zużycie energii, łatwe do uzyskania naprawdę czyste, wysokie i bardzo wysokie podciśnienie bez smarowania pomp, zdolność do wyciągania gazów korozyjnych przez długi czas, wysokie bezpieczeństwo i długa żywotność dzięki ochronie łożysk z precyzyjnymi kulkami ceramicznymi i funkcją generowania prądu w przypadku nagłego wyłączenia.Ma zalety, takie jak brak tarcia, zanieczyszczeń i konserwacji oraz niski poziom wibracji i może być instalowany w dowolnej orientacji.

Aplikacje:

Ekstrakcja gazów korozyjnych występujących w trawieniu, CVD, PVD i implantacji jonów oraz gazów łatwo koagulujących w normalnej temperaturze w dziedzinie produkcji półprzewodników, produkcji klipsów, galwanizacji przemysłowej i instrumentów naukowych, zwłaszcza do.

Dane techniczne: