Innowacyjne instrumenty naukowe
Przekształcanie się w pierwszorzędne przedsiębiorstwa
|
Szczegóły Produktu:
Zapłata:
|
| Resolution: | SE：3nm@30KV，8nm@3kV； BSE ：4nm@30KV | Magnification: | 1x-450000x |
|---|---|---|---|
| Specimen Stage: | Five axes stage | Electron Gun: | Pre-aligned tungsten filament |
| Podkreślić: | mikroskop elektronowy sem,maszyna sem |
||
Jako Kyky ponad 60-letnie doświadczenie w produkcji SEM, cała seria EM obsługuje stary system odnowiony i dostosowany system SEM+, taki jak przebudowa litografii wiązki elektronów, ulepszenie LAB6, zintegrowane z STM, AFM, stadium ogrzewania; etap kriowy; etap rozciągający; Manipulator Micro-Nano Manipulator itp.
Advanteges:
◆ Opcjonalne moduły o niskiej próżni (LVSE, LVBSE)
◆ Bogate funkcje automatyzacji
◆ Dostosowywanie kolumny/komory/systemu elektrycznego
◆ Opcjonalna komora dużych rozmiarów
◆ Szeroka kamera nawigacyjna
◆ Bogate rozszerzające się załączniki
Specyfikacje:
| Przedmiot | EM6910 Tungsten Filament SEM | |
| Rezolucja | SE: 3nm@30KV, 8nm@3KV ； BSE: 4NM@30KV | |
| Powiększenie | 1x-450000X | |
| Pistolet elektronowy | Wstępnie wyrównany żarnik wolframowy | |
| Napięcie przyspieszające |
0,2KV-30KV
|
|
|
System próżniowy
|
Turbo pompa molekularna +pompa mechaniczna
|
|
| Obiektywna przysłona | Molybdenum Aperture regulowany zewnętrzny układ próżniowy | |
| Etap okazu | Etap pięciu osi | |
| Podróż | X (auto) | 0 ~ 80 mm |
| Zakres | Y (auto) | 0 ~ 50 mm |
| Z (ręczne) | 0 ~ 30 mm | |
| R (ręczne) | 360 ° | |
| T (ręczne) | -5 ° ~ 70 ° | |
| Maksymalna średnica próbki | 175 mm | |
| Detektor |
Wtórny detektor elektronów
|
|
|
Detektor półprzewodnikowy BSE ※
|
||
|
CCD na podczerwień
|
||
| O niskiej prakuum SED ※/ niski vakuum BSED ※
|
||
| Modyfikacja | Ulepszenie etapu; EBL; STM; AFM; Etap ogrzewania; Cryo Etap; Scena rozciągająca; Manipulator mikro-nano; SEM+Maszyna powlekania; laser SEM+ | |
| Akcesoria | Lab6, rentgen detektor (EDS), EBSD, CL, WDS, maszyna do powlekania | |
|
Funkcja niskiej próżni ※
|
Poziom próżni 10-270pa SE: 4NM@30KV, 50PA
|
|
Osoba kontaktowa: Ms. Wang He
Tel: 86-10- 82548271
Faks: 86-010-62564613
