Magnetycznie lewitowana turbomolekularna pompa próżniowa o niskich wibracjach CXF-320/3000E

Pompa Maglev , CXF-320/3000E , Chłodzenie Waterr , ISO-F , Sterownik zewnętrzny

Magnetycznie lewitowane pompy molekularne to pompy, których wał jest wspierany siłą magnetyczną.

Seria magnetycznie lewitowanych pomp molekularnych to urządzenia do generowania próżni opracowane przez KYKY w celu spełnienia wymagań aplikacji w dziedzinach nowoczesnej produkcji półprzewodników, produkcji chipów, galwanizacji przemysłowej i instrumentów naukowych.

Łożysko elektromagnetyczne jest również nazywane „aktywnymi magnetycznymi lewitującymi niedźwiedziami”, składającymi się z łożyska magnetycznego, czujnika i układu sterowania.Ta konstrukcja charakteryzuje się dynamiczną reakcją i terminową regulacją, szybkimi wałami i niezawodną pracą.

Zalety:

1. Zero tarcia podczas pracy i niskie zużycie energii

2. Łatwe do uzyskania naprawdę czystego wysokiego podciśnienia i ultrawysokiego podciśnienia bez smarowania pomp

3. Zdolne do ekstrakcji gazów korozyjnych przez długi czas

4. Wysokie bezpieczeństwo i długa żywotność dzięki ochronie łożysk precyzyjnymi kulkami ceramicznymi

5. funkcja generowania energii w przypadku nagłego wyłączenia zasilania;

6. Bez tarcia

7. Wolny od zanieczyszczeń

8. Bez konserwacji!

9. Niskie wibracje

10. zainstalowany w dowolnej orientacji.

Technologie:

• Technologia sterowania dla łożyska magnetycznego: Magnetycznie lewitowany w 5 osiach.Ta konstrukcja może mieć dynamiczną reakcję i terminową regulację za pomocą dynamicznej, aktywnej technologii sterowania zawieszeniem magnetycznym z zamkniętym obwodem, opartej na zaawansowanej międzynarodowej teorii sterowania, aby zagwarantować tak znaczące zalety szybkich wałów, jak stabilna, lewitująca i niezawodna praca.
• Technologia sterowania napędem silnika: Wysokowydajny, szybki silnik prądu stałego i system sterowania serwo są stosowane w serii lewitowanych magnetycznie pomp, aby uzyskać maksymalną energię silnika i automatycznie kompensować prędkość obrotową wału, zapewniając w ten sposób stabilny rozruch, niezawodną pracę i automatyczną regulację funkcja energii dynamicznej.
• Technologia wirnika kompozytowego z włókna węglowego: Wirniki turbo seryjnych pomp molekularnych z zawieszeniem magnetycznym są wykonane z wysokowytrzymałego stopu aluminium i lekkiego włókna węglowego.W porównaniu do wszystkich wirników ze stopów aluminium, wirniki turbo charakteryzują się dużą redukcją masy i dużą poprawą wytrzymałości, dzięki czemu osiągane są cele w zakresie dużej prędkości obrotowej, wysokich osiągów i wysokiej niezawodności.
• Technologia odporna na korozję: Powierzchnie części w komorach seryjnych pomp molekularnych z zawiesiną magnetyczną są poddawane specjalnej obróbce, dzięki czemu powierzchnie są odporne na korozję powodowaną przez gazy korozyjne w procesach wytwarzania półprzewodników przez długi czas.Ponadto, takie gazy obojętne jak N2 są w pełni wypełniane w wałach pomp w celu ochrony części niskopróżniowych w pompach, dzięki czemu realizowana jest funkcja stabilnego odprowadzania gazów korozyjnych przez długi czas.
• System kontroli temperatury ogrzewania: Seria magnetycznie lewitowanych pomp molekularnych jest wyposażona w grzałkę elektryczną i regulator temperatury, dzięki czemu woda chłodząca, ogrzewanie powietrzno-kostne, ogrzewanie elektryczne i ciepło przenoszone przez gazy ochronne mogą być monitorowane i kontrolowane podczas pracy, temperatura w pompach może być utrzymywana na poziomie pewna wartość na dłuższą metę, niektóre substancje gazowe nie są przekształcane w substancje stałe w normalnej temperaturze i nie osadzają się w pompach, a wymagania dotyczące specjalnego procesu, takiego jak trawienie, mogą być spełnione.

Dane techniczne:

Aplikacje:

Seria magnetycznie lewitowanych pomp molekularnych jest stosowana głównie w dziedzinach produkcji półprzewodników, produkcji klipsów, galwanizacji przemysłowej i instrumentów naukowych, zwłaszcza do ekstrakcji gazów korozyjnych występujących w trawieniu, CVD, PVD i implantacji jonów oraz gazów łatwo koagulujących w normalnej temperaturze.