Turbomolekularna pompa smarująca Maglev ISO-K/CF Niskie zużycie energii

Pompa Maglev , CXF-200/1400 , Chłodzenie wodą , ISO-K/CF , Sterownik zewnętrzny

Magnetycznie lewitowane pompy molekularne to pompy, których wał jest wspierany siłą magnetyczną.

Seria magnetycznie lewitowanych pomp molekularnych to urządzenia do generowania próżni opracowane przez KYKY w celu spełnienia wymagań aplikacji w dziedzinach nowoczesnej produkcji półprzewodników, produkcji chipów, galwanizacji przemysłowej i instrumentów naukowych.

Technologie:

• Technologia sterowania dla łożyska magnetycznego: 5-osiowy magnetycznie lewitowany, oparty na zaawansowanej międzynarodowej teorii sterowania, gwarantujący tak znaczące zalety szybkich wałów, jak stabilna lewitacja i niezawodna praca.
• Technologia sterowania napędem silnika: Wysokowydajny szybki silnik prądu stałego i układ sterowania serwo, posiadający maksymalną energię silnika i automatycznie kompensujący prędkość obrotową wału, zapewniając w ten sposób stabilny rozruch, niezawodną pracę i funkcję automatycznej regulacji energii dynamicznej.
• Technologia wirnika kompozytowego z włókna węglowego: Wykonane z mieszanki wysokowytrzymałego stopu aluminium i lekkiego włókna węglowego.charakteryzuje się dużą redukcją masy i dużą poprawą wytrzymałości, dzięki czemu osiągane są cele w zakresie dużej prędkości obrotowej, wysokiej wydajności i wysokiej niezawodności.
• Technologia odporna na korozję: Powierzchnie części w komorach są poddawane specjalnej obróbce, dzięki czemu powierzchnie przez długi czas są odporne na korozję powodowaną przez gazy korozyjne w procesach wytwarzania półprzewodników.Ponadto, w wałach pomp są całkowicie wypełnione gazy obojętne, takie jak N2, aby chronić części pomp o niskim podciśnieniu, dzięki czemu realizowana jest funkcja stabilnego odprowadzania gazów korozyjnych przez długi czas.
• System kontroli temperatury ogrzewania: wyposażone w grzałkę elektryczną i regulator temperatury, woda chłodząca, ogrzewanie powietrzno-kostne, ogrzewanie elektryczne i ciepło przenoszone przez gazy ochronne mogą być monitorowane i kontrolowane podczas pracy, temperatura w pompach może być utrzymywana na pewnej wartości przez długi czas, niektóre w stanie gazowym substancje nie są przekształcane w substancje stałe w normalnej temperaturze i nie osadzają się w pompach, a wymagania dotyczące specjalnego procesu, takiego jak trawienie, mogą być spełnione.

Zalety:

1. Zero tarcia podczas pracy i niskie zużycie energii

2. Łatwe do uzyskania naprawdę czystego wysokiego podciśnienia i ultrawysokiego podciśnienia bez smarowania pomp

3. Zdolne do ekstrakcji gazów korozyjnych przez długi czas

4. Wysokie bezpieczeństwo i długa żywotność dzięki ochronie łożysk precyzyjnymi kulkami ceramicznymi

5. funkcja generowania energii w przypadku nagłego wyłączenia zasilania;

6. Bez tarcia

7. Wolny od zanieczyszczeń

8. Bez konserwacji!

9. Niskie wibracje

10. zainstalowany w dowolnej orientacji.

Aplikacje:

Ekstrakcja gazów korozyjnych występujących w trawieniu, CVD, PVD i implantacji jonów oraz gazów łatwo koagulujących w normalnej temperaturze w dziedzinach produkcji półprzewodników, produkcji zacisków, galwanizacji przemysłowej i instrumentów naukowych, .

Dane techniczne: