KYKY TECHNOLOGY CO., LTD.

Innowacyjne instrumenty naukowe

Przekształcanie się w pierwszorzędne przedsiębiorstwa

Dom ProduktyPompa turbomolekularna

Magnetycznie lewitowana turbomolekularna pompa próżniowa o niskich wibracjach CXF-320/3000E

Orzecznictwo
Chiny KYKY TECHNOLOGY CO., LTD. Certyfikaty
Chiny KYKY TECHNOLOGY CO., LTD. Certyfikaty
Im Online Czat teraz

Magnetycznie lewitowana turbomolekularna pompa próżniowa o niskich wibracjach CXF-320/3000E

large.img.alt
small.img.alt

Duży Obraz :  Magnetycznie lewitowana turbomolekularna pompa próżniowa o niskich wibracjach CXF-320/3000E

Szczegóły Produktu:
Miejsce pochodzenia: Chiny
Nazwa handlowa: KYKY
Orzecznictwo: CE
Numer modelu: CXF-320/3000E
Zapłata:
Minimalne zamówienie: 1
Szczegóły pakowania: Drewniane pudełko do wysyłki za granicę
Czas dostawy: 4 tygodnie
Zasady płatności: T/T, L/C
Szczegółowy opis produktu
Prędkość pompowania: 3000L/s N2 Kontroler: zewnętrzny
Kołnierz: ISO-F Chłodzenie: woda
High Light:

pompy turbomolekularne

,

turbo pompa próżniowa

Pompa Maglev , CXF-320/3000E , Chłodzenie Waterr , ISO-F , Sterownik zewnętrzny

Magnetycznie lewitowane pompy molekularne to pompy, których wał jest wspierany siłą magnetyczną.

Seria magnetycznie lewitowanych pomp molekularnych to urządzenia do generowania próżni opracowane przez KYKY w celu spełnienia wymagań aplikacji w dziedzinach nowoczesnej produkcji półprzewodników, produkcji chipów, galwanizacji przemysłowej i instrumentów naukowych.

 

Łożysko elektromagnetyczne jest również nazywane „aktywnymi magnetycznymi lewitującymi niedźwiedziami”, składającymi się z łożyska magnetycznego, czujnika i układu sterowania.Ta konstrukcja charakteryzuje się dynamiczną reakcją i terminową regulacją, szybkimi wałami i niezawodną pracą.

 

Zalety:

1. Zero tarcia podczas pracy i niskie zużycie energii

2. Łatwe do uzyskania naprawdę czystego wysokiego podciśnienia i ultrawysokiego podciśnienia bez smarowania pomp

3. Zdolne do ekstrakcji gazów korozyjnych przez długi czas

4. Wysokie bezpieczeństwo i długa żywotność dzięki ochronie łożysk precyzyjnymi kulkami ceramicznymi

5. funkcja generowania energii w przypadku nagłego wyłączenia zasilania;

6. Bez tarcia

7. Wolny od zanieczyszczeń

8. Bez konserwacji!

9. Niskie wibracje

10. zainstalowany w dowolnej orientacji.

 

Technologie:

  • Technologia sterowania dla łożyska magnetycznego: Magnetycznie lewitowany w 5 osiach.Ta konstrukcja może mieć dynamiczną reakcję i terminową regulację za pomocą dynamicznej, aktywnej technologii sterowania zawieszeniem magnetycznym z zamkniętym obwodem, opartej na zaawansowanej międzynarodowej teorii sterowania, aby zagwarantować tak znaczące zalety szybkich wałów, jak stabilna, lewitująca i niezawodna praca.
  • Technologia sterowania napędem silnika: Wysokowydajny, szybki silnik prądu stałego i system sterowania serwo są stosowane w serii lewitowanych magnetycznie pomp, aby uzyskać maksymalną energię silnika i automatycznie kompensować prędkość obrotową wału, zapewniając w ten sposób stabilny rozruch, niezawodną pracę i automatyczną regulację funkcja energii dynamicznej.
  • Technologia wirnika kompozytowego z włókna węglowego: Wirniki turbo seryjnych pomp molekularnych z zawieszeniem magnetycznym są wykonane z wysokowytrzymałego stopu aluminium i lekkiego włókna węglowego.W porównaniu do wszystkich wirników ze stopów aluminium, wirniki turbo charakteryzują się dużą redukcją masy i dużą poprawą wytrzymałości, dzięki czemu osiągane są cele w zakresie dużej prędkości obrotowej, wysokich osiągów i wysokiej niezawodności.
  • Technologia odporna na korozję: Powierzchnie części w komorach seryjnych pomp molekularnych z zawiesiną magnetyczną są poddawane specjalnej obróbce, dzięki czemu powierzchnie są odporne na korozję powodowaną przez gazy korozyjne w procesach wytwarzania półprzewodników przez długi czas.Ponadto, takie gazy obojętne jak N2 są w pełni wypełniane w wałach pomp w celu ochrony części niskopróżniowych w pompach, dzięki czemu realizowana jest funkcja stabilnego odprowadzania gazów korozyjnych przez długi czas.
  • System kontroli temperatury ogrzewania: Seria magnetycznie lewitowanych pomp molekularnych jest wyposażona w grzałkę elektryczną i regulator temperatury, dzięki czemu woda chłodząca, ogrzewanie powietrzno-kostne, ogrzewanie elektryczne i ciepło przenoszone przez gazy ochronne mogą być monitorowane i kontrolowane podczas pracy, temperatura w pompach może być utrzymywana na poziomie pewna wartość na dłuższą metę, niektóre substancje gazowe nie są przekształcane w substancje stałe w normalnej temperaturze i nie osadzają się w pompach, a wymagania dotyczące specjalnego procesu, takiego jak trawienie, mogą być spełnione.

Dane techniczne:

Kołnierz (w) DN250 ISO-F
Kołnierz (na zewnątrz) KF DN50
Prędkość pompowania (l/s) n2:3000
Ar:2750
On: 2300
h2:1100
Stopień sprężania n2:108
Ar:108
On: 104
h2:103
Ostateczne ciśnienie (Pa) CF:1×10-6
ISO-K/F:6×10-6
Maks.Ciągłe ciśnienie wstępnej próżni (Pa) 40
Maks.Ciśnienie wstępnej próżni n2:290
Całkowity gaz (sccm) n2:5800
Ar:2200
On: 4300
h2:3100
Prędkość obrotowa (obr/min) 21000
Czas rozruchu (min) ≤18
Typ chłodzenia, standardowy Woda
Zużycie wody chłodzącej (l/min) 1
Temperatura wody chłodzącej (℃) 20
Połączenie zasilania: napięcie (V AC) 220
Model kontrolera CXF-3000
Waga (kg) 70

 

Aplikacje:

Seria magnetycznie lewitowanych pomp molekularnych jest stosowana głównie w dziedzinach produkcji półprzewodników, produkcji klipsów, galwanizacji przemysłowej i instrumentów naukowych, zwłaszcza do ekstrakcji gazów korozyjnych występujących w trawieniu, CVD, PVD i implantacji jonów oraz gazów łatwo koagulujących w normalnej temperaturze.

Szczegóły kontaktu
KYKY TECHNOLOGY CO., LTD.

Osoba kontaktowa: sales

Tel: +8613810212935

Wyślij zapytanie bezpośrednio do nas (0 / 3000)