Szczegóły Produktu:
Zapłata:
|
Smarowanie: | Maglev | Kołnierz: | ISO-K/CF |
---|---|---|---|
chłodzenie: | Woda | Prędkość pompowania: | 2300L/s N2 |
High Light: | pompy turbomolekularne,turbomolekularna pompa próżniowa |
Pompa Maglev, CXF-250/2300, ISO-K/CF , Chłodzenie wodne , Sterownik zewnętrzny
Magnetycznie lewitowane pompy molekularne to pompy, których wał jest wspomagany siłą magnetyczną, spełniając wymagania aplikacji w dziedzinach nowoczesnej produkcji półprzewodników, produkcji chipów, galwanizacji przemysłowej i instrumentów naukowych.
Technologie:
Zalety:
Te pompy mają zalety, takie jak zerowe tarcie podczas pracy i niskie zużycie energii, łatwe do uzyskania naprawdę czyste, wysokie i bardzo wysokie podciśnienie bez smarowania pomp, zdolność do wyciągania gazów korozyjnych przez długi czas, wysokie bezpieczeństwo i długa żywotność dzięki ochronie łożysk z precyzyjnymi kulkami ceramicznymi i funkcją generowania prądu w przypadku nagłego wyłączenia.Ma zalety, takie jak brak tarcia, zanieczyszczeń i konserwacji oraz niski poziom wibracji i może być instalowany w dowolnej orientacji.
Aplikacje:
Ekstrakcja gazów korozyjnych występujących podczas wytrawiania, CVD, PVD i implantacji jonów oraz gazów łatwo koagulujących w normalnej temperaturze w dziedzinie produkcji półprzewodników, produkcji zacisków, galwanizacji przemysłowej i instrumentów naukowych.
Specyfikacja:
Kołnierz (w) | DN250 CF/ISO-K, ISO-F |
Kołnierz (na zewnątrz) KF | DN40 |
Prędkość pompowania (l/s) | n2:2300 |
Ar: 2250 | |
On: 1900 | |
h2:850 | |
Stopień sprężania | n2:108 |
Ar:108 | |
On: 104 | |
h2:103 | |
Ostateczne ciśnienie (Pa) | CF:1×10-6 |
ISO-K/F:6×10-6 | |
Maks.Ciągłe ciśnienie wstępnej próżni (Pa) | 60 |
Maks.Ciśnienie wstępnej próżni | n2:250 |
Całkowity gaz (sccm) | n2:3600 |
Ar: 1400 | |
On: 2800 | |
h2:2100 | |
Prędkość obrotowa (obr/min) | 27000 |
Czas rozruchu (min) | ≤11 |
Typ chłodzenia, standardowy | Woda |
Zużycie wody chłodzącej (l/min) | 1 |
Temperatura wody chłodzącej (℃) | 20 |
Połączenie zasilania: napięcie (V AC) | 220 |
Model kontrolera | CXF-2300 |
Waga (kg) | 59(ISO-K/F) 62(CF) |
Osoba kontaktowa: sales
Tel: +8613810212935