Szczegóły Produktu:
Zapłata:
|
Kołnierz: | ISO-K/CF | chłodzenie: | woda |
---|---|---|---|
Kontroler: | Na pokładzie | Ciśnienie ostateczne: | CF:1E-6, ISO-K/F:6E-6 |
High Light: | pompy turbomolekularne,turbomolekularna pompa próżniowa |
Pompa Maglev , CXF-250/2301E , Chłodzenie wodne , Na pokładzie
Magnetycznie lewitowane pompy molekularne to pompy, których wał jest wspierany siłą magnetyczną.
Seria magnetycznie lewitowanych pomp molekularnych to urządzenia do generowania próżni opracowane przez KYKY w celu spełnienia wymagań aplikacji w dziedzinach nowoczesnej produkcji półprzewodników, produkcji chipów, galwanizacji przemysłowej i instrumentów naukowych.
Technologie:
Aplikacje:
Seria magnetycznie lewitowanych pomp molekularnych jest stosowana głównie w dziedzinach produkcji półprzewodników, produkcji klipsów, galwanizacji przemysłowej i instrumentów naukowych, zwłaszcza do ekstrakcji gazów korozyjnych występujących w trawieniu, CVD, PVD i implantacji jonów oraz gazów łatwo koagulujących w normalnej temperaturze.
Dane techniczne:
Kołnierz (w) | DN250 CF/ISO-K, ISO-F |
Kołnierz (na zewnątrz) KF | DN40 |
Prędkość pompowania (l/s) | n2:2300 |
Ar: 2250 | |
On: 1900 | |
h2:850 | |
Stopień sprężania | n2:108 |
Ar:108 | |
On: 104 | |
h2:103 | |
Ostateczne ciśnienie (Pa) | CF:1×10-6 |
ISO-K/F:6×10-6 | |
Maks.Ciągłe ciśnienie wstępnej próżni (Pa) | 60 |
Maks.Ciśnienie wstępnej próżni | n2:250 |
Całkowity gaz (sccm) | n2:3600 |
Ar: 1400 | |
On: 2800 | |
h2:2100 | |
Prędkość obrotowa (obr/min) | 27000 |
Czas rozruchu (min) | ≤11 |
Typ chłodzenia, standardowy | Woda |
Zużycie wody chłodzącej (l/min) | 1 |
Temperatura wody chłodzącej (℃) | 20 |
Połączenie zasilania: napięcie (V AC) | 220 |
Osoba kontaktowa: sales
Tel: +8613810212935